Инфракрасная матрица в фокальной плоскости является ядром инфракрасной тепловизионной системы. Он может широко использоваться в мониторинге безопасности, промышленности, транспорте, медицине и других областях. В настоящее время VOx и a-Si являются основными чувствительными материалами неохлаждаемой инфракрасной фокальной плоскости. В данной статье мы сравним их сходства и различия с точки зрения процесса изготовления, типа пленки, технического времени накопления, показателей эффективности пленки и технологии устройства.
1. Сходства
a. Производственный процесс
Микроболометрическая технология совместима с КМОП-технологией и может быть интегрирована со схемами считывания КМОП на одном кристалле, что позволяет осуществлять массовое производство на основе процессов производства полупроводников.
b. Тип пленки
Обе пленки являются полупроводниковыми термочувствительными пленками (инфракрасные термочувствительные пленки), а пленка TCR (температурный коэффициент сопротивления) пропорциональна ее удельному сопротивлению.
2. Разница
a. Техническое время накопления
В 1978 году исследователи совершили прорыв в использовании материалов VOx для изготовления детекторов, но технология a-Si была отложена на 10 лет. Производительность и технология чипов из VOx более зрелые, чем у a-Si.
b. Показатели эффективности пленки
При одинаковом удельном сопротивлении пленка VOx лучше, чем пленка a-Si. При одинаковом TCR (температурном коэффициенте сопротивления) коэффициент шума 1/f пленки a-Si выше, чем пленки VOx. Короче говоря, инфракрасный детектор VOx имеет лучший визуальный эффект.
c. Технические индикаторы устройства
Инфракрасный детектор VOx обладает высокой эффективностью фотоэлектрического преобразования и хорошей стабильностью измерения температуры. NETD (тепловая чувствительность) инфракрасного детектора VOx может достигать 30 мкК, в то время как NETD инфракрасного детектора a-Si обычно составляет около 50 мк.
Неоднородность изображения инфракрасных детекторов VOx лучше, чем у тепловых детекторов a-Si. Остаточный фиксированный шум изображения a-Si более чем на порядок больше, чем у VOx, что приводит к размытой текстуре изображения и немного более низкой четкости, чем у VOx.
Если посмотреть на мировой рынок инфракрасного излучения, то и VOx, и a-Si получили широкое распространение. GSTiR использует технологию VOx, имеет полную независимую и контролируемую линейку продуктов и поддерживается самой ранней отечественной технологией для достижения массового производства упаковки на уровне пластин (WLP), что значительно снижает стоимость детекторов VOx.
идти наверх
Неохлаждаемые инфракрасные детекторы
Неохлаждаемые тепловизионные модули
Охлаждаемые инфракрасные детекторы
Охлаждаемые тепловые модули